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摘要：本发明公开了一种基于反馈式微环谐振器的法诺微环光波导生物传感器，包括微流基台、微流通道层、透明盖板组成的微流封装结构以及法诺微环光波导生物传感芯片。本发明通过法诺微环光波导生物传感芯片中的反馈波导将微环的through端和add端相连接形成法诺共振，从而获得高消光比并降低了传感器的检测极限。本发明采用非对称MZI的设计方式，将法诺微环光波导生物传感芯片中的微环波导宽度和反馈波导宽度设计为不相等，从而具有不同的模式有效折射率，使得传感灵敏度极大增加。本发明可以用平面集成光波导工艺制作，只需要一次刻蚀完成，工艺简便，成本低，性能高，损耗小，体积小，稳定性好具有很大的生产化潜力。
主权项：1.一种基于反馈式微环谐振器的法诺微环光波导生物传感器，其特征在于，包括微流基台a、微流通道层b、透明盖板c组成的微流封装结构以及法诺微环光波导生物传感芯片d；光波导传感芯片d与微流通道层b之间紧密贴合，使微流体能通过微流通道流经传感元件，光波导传感芯片d和微流通道层b贴合后的整体夹持在所述的微流基台a和透明盖板c之间，从而实现稳固的微流封装。
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百度查询： 浙江大学 一种基于反馈式微环谐振器的法诺微环光波导生物传感器
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