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摘要：本发明涉及光伏太阳能技术领域，公开了一种延长石英件使用寿命的方法。为了防止硅在石英件表面附着，传统的且主流的做法是在石英件的表面形成隔绝保护层，以避免石英件表面直接附着硅，进而延长其使用寿命，但这些传统的隔绝保护膜层，无法防止硅的产生。本发明通过在石英件表面形成含氧的碳化硅膜层，避免硅在石英件表面的产生，很好地改善了石英件在长时间使用后的内应力作用，特别是，很好地改善了石英件的表层的应力作用，使得石英件在长时间使用后也不出现表面碎裂问题，石英件使用寿命可延长至2年以上。
主权项：1.一种延长石英件使用寿命的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤S1：提供石英件，并放入化学气相沉积腔室中；步骤S2：将腔室的压力调节至亚常压，向腔室中通入硅源、碳源，使在石英件表面沉积碳化硅膜层；步骤S3：将腔室的压力调节至0.1~50torr，保持向腔室中通入硅源、碳源，并向腔室中通入氧源，使在石英件表面的碳化硅膜层中注入氧元素；其中，硅源、氧源的通入流量比为1:2~4；步骤S4：将石英件从化学气相沉积腔室中取出，投入生产使用。
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百度查询： 无锡松煜科技有限公司 一种延长石英件使用寿命的方法
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