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一种石英坩埚检测设备 

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摘要:本发明涉及自动化检测设备技术领域,具体公开了一种石英坩埚检测设备,包括机架,所述机架上转动连接有一承载转动盘,所述承载转动盘上安装有待检测坩埚本体;所述承载转动盘上设置有用于限位坩埚本体的紧固件,所述机架上安装有第一检测相机;所述机架上竖直滑动连接有一承载架,承载架上安装有一用于夹持坩埚本体的夹持机构;所述机架上通过承载座滑动连接有第二检测相机,所述承载座与夹持机构之间通过联动机构传动连接。从而能够使得坩埚本体检测的更加均匀,能够最大程度使得坩埚本体检测的更加彻底。同时在一个检测设备上便可以实现对坩埚本体的全方位检测,无需将坩埚本体拆卸后在安装,避免坩埚本体受损。

主权项:1.一种石英坩埚检测设备,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)上转动连接有一承载转动盘(2),所述承载转动盘(2)上安装有待检测坩埚本体(3);所述承载转动盘(2)上设置有用于限位坩埚本体(3)的紧固件(4),所述机架(1)上安装有第一检测相机(12),用于对坩埚本体(3)侧壁进行检测;所述机架(1)上竖直滑动连接有一承载架(9),承载架(9)上安装有一用于夹持坩埚本体(3)的夹持机构(10),所述夹持机构(10)与机架(1)之间还设置有导向件,所述机架(1)上设置有用于驱使夹持机构(10)竖直滑动以及承载转动盘(2)转动的驱动机构(8);所述机架(1)上通过承载座(15)滑动连接有第二检测相机(13),所述承载座(15)与夹持机构(10)之间通过联动机构(16)传动连接;第一工位,驱动机构(8)驱使承载转动盘(2)以及紧固件(4)带动坩埚本体(3)转动,第一检测相机(12)对坩埚本体(3)侧壁进行检测;第二工位,驱动机构(8)驱使夹持机构(10)向上通过导向件将坩埚本体(3)固定后,并且带动坩埚本体(3)一同向上滑动的行程中通过联动机构(16)带动承载座(15)水平滑动,以使得第二检测相机(13)对坩埚本体(3)底部进行检测。

全文数据:

权利要求:

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