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压力传感器及压力检测设备 

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摘要:本申请提供一种压力传感器及压力检测设备,涉及压力检测技术领域。压力传感器包括:壳体、压力膜片、基板和调整电容电路;其中,基板和压力膜片固定设置在壳体上,且压力膜片靠近基板的第一面,调整电容电路设置在基板的第二面;压力膜片与基板形成测试电容;压力膜片用于基于施加压力产生的形变生成并输出测试电容信号;测试电容与调整电容电路连接;调整电容电路用于对接收的测试电容信号调整,输出目标电容信号。通过调整电容电路对压力膜片输出的测试电容信号进行校准调整,有效地减少了电容信号的误差,提高了最终输出的目标电容信号反馈的测试压力的准确性,从而提高了压力传感器的一致性,优化了压力传感器进行压力检测的效果。

主权项:1.一种压力传感器,其特征在于,所述压力传感器包括:壳体、压力膜片、基板和调整电容电路;其中,所述基板和所述压力膜片固定设置在所述壳体上,且所述压力膜片靠近所述基板的第一面,所述调整电容电路设置在所述基板的第二面,所述第一面和所述第二面相对设置;所述压力膜片与所述基板形成测试电容;所述压力膜片用于基于施加压力产生的形变生成并输出测试电容信号;所述测试电容与所述调整电容电路连接;所述调整电容电路用于对接收的所述测试电容信号调整,输出目标电容信号。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 四川九天真空科技有限公司 压力传感器及压力检测设备

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