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摘要：本发明公开了一种MEMS陀螺模态自动匹配装置、方法、系统及介质，涉及自动控制领域，装置中电荷放大模块用于将MEMS陀螺质量块的电极的电容变化量转换为振动电信号，第一解调器则会从振动电信号中解调出正交信号或同相信号，相位控制器用于确定正交信号对应的第一谐振频率或确定同相信号对应的第二谐振频率，并通过第一线路切换控制器向MEMS陀螺质量块传输相应的稳定信号以使驱动模态或敏感模态保持在谐振状态，而自动匹配控制器能够基于模态变换中驱动模态对应的第一谐振频率减去敏感模态对应的第二谐振频率的频率差改变输出至驱动模态调谐电极的调谐电压，使得调整后的频率差处于第一预设值范围内，实现驱动模态与敏感模态的匹配。

主权项：1.一种MEMS陀螺模态自动匹配装置，其特征在于，包括：电荷放大模块、第一解调器、相位控制器、第一线路切换控制器及自动匹配控制器；所述电荷放大模块与MEMS陀螺质量块的第一检测接口及第二检测接口连接，用于将所述MEMS陀螺质量块的电极的电容变化量转换为振动电信号；所述第一解调器与所述电荷放大模块连接，用于从所述振动电信号中解调出正交信号或同相信号，当所述第一解调器解调出所述正交信号时表征所述MEMS陀螺质量块处于驱动模态，当所述第一解调器解调出所述同相信号时表征所述MEMS陀螺质量块处于敏感模态；所述相位控制器分别与所述第一解调器及所述第一线路切换控制器连接，用于检测所述正交信号对应的第一相位或检测所述同相信号对应的第二相位，以确定所述正交信号对应的第一谐振频率或确定所述同相信号对应的第二谐振频率，并通过所述第一线路切换控制器向所述MEMS陀螺质量块传输相应的第一稳定信号或第二稳定信号，以使所述MEMS陀螺质量块在接收到所述第一稳定信号后将所述驱动模态保持在谐振状态或以使所述MEMS陀螺质量块在接收到所述第二稳定信号后将所述敏感模态保持在所述谐振状态；所述第一线路切换控制器分别与所述MEMS陀螺质量块的第一激励接口及所述MEMS陀螺质量块的第二激励接口连接，用于将所述第一稳定信号传输至所述第一激励接口，将所述第二稳定信号传输至所述第二激励接口；所述自动匹配控制器分别与所述相位控制器及所述MEMS陀螺质量块的驱动模态调谐电极连接，用于确定所述第一谐振频率减去所述第二谐振频率的频率差，并向所述驱动模态调谐电极输出所述频率差对应的调谐电压，以使调整后的所述频率差处于第一预设值范围内。

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百度查询： 苏州市职业大学 一种MEMS陀螺模态自动匹配装置、方法、系统及介质