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摘要：本发明公开了一种晶圆盒传输机构、存储设备及传输方法，晶圆盒传输机构包括第一轨道、第二轨道、转运组件，第一轨道包括沿第一方向延伸且间隔布置的第一轨道段和第二轨道段；第二轨道包括与第一轨道在第二方向上间隔并行且在第一方向上间隔布置的第三轨道段和第四轨道段；在第二方向上，第一轨道段与第三轨道段的间距小于第二轨道段与第四轨道段的间距；转运组件包括可沿第二方向在第一位置、第二位置和第三位置之间移动的转运轨道，在第一位置，第一轨道段通过转运轨道与第二轨道段连接；在第二位置，转运轨道与第三轨道段连接；在第三位置，转运轨道与第四轨道段连接。本发明能在存储库部分对应弯轨段时使天车能正确取放晶圆盒。
主权项：1.一种晶圆盒传输机构，其特征在于，包括：第一轨道，所述第一轨道包括沿第一方向延伸且间隔布置的第一轨道段和第二轨道段；第二轨道，所述第二轨道包括与所述第一轨道在第二方向上间隔并行且在所述第一方向上间隔布置的第三轨道段和第四轨道段，所述第一轨道段和所述第三轨道段的一端用于与天车传输设备的天车对接，所述第二轨道段和所述第四轨道段的一端用于与存储库对接；在所述第二方向上，所述第一轨道段与所述第三轨道段的间距小于所述第二轨道段与所述第四轨道段的间距；转运组件，所述转运组件设在所述第一轨道段所述第三轨道段与所述第二轨道段所述第四轨道段之间，所述转运组件包括转运轨道，所述转运轨道可沿所述第二方向在第一位置、第二位置和第三位置之间移动；在所述第一位置，所述第一轨道段通过所述转运轨道与所述第二轨道段连接；在所述第二位置，所述转运轨道与所述第三轨道段连接；在所述第三位置，所述转运轨道与所述第四轨道段连接。
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百度查询： 上海果纳半导体技术有限公司 晶圆盒传输机构、存储设备及传输方法
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