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摘要:本发明提供了一种BGO的表面修型方法,包括以下步骤:A)以铸铁盘作为研磨盘,使用研磨液对BGO晶体表面进行研磨;所述研磨液包括粒径为8~12μm的白刚玉和水;B)以镶嵌氧化锆的聚氨酯作为粗抛抛光盘,使用粗抛抛光液对步骤A)中研磨后的BGO晶体表面进行粗抛抛光;所述粗抛抛光液包括粒径为0.5~1.5μm的单晶钻石粉和水;C)使用精抛抛光液对步骤B)中粗抛后的BGO晶体表面进行精抛抛光;所述精抛抛光液包括粒径为50~200nm的二氧化硅和水。利用本发明提供的表面修形方法,可以将BGO的表面的面加工精度可达IT5~IT01,表面粗糙度可达Ra0.6~1.5nm。
主权项:1.一种BGO的表面修型方法,包括以下步骤:A)以铸铁盘作为研磨盘,使用研磨液对BGO晶体表面进行研磨;所述研磨液包括粒径为8~12μm的白刚玉和水;B)以镶嵌氧化锆的聚氨酯作为粗抛抛光盘,使用粗抛抛光液对步骤A)中研磨后的BGO晶体表面进行粗抛抛光;所述粗抛抛光液包括粒径为0.5~1.5μm的单晶钻石粉和水;C)使用精抛抛光液对步骤B)中粗抛后的BGO晶体表面进行精抛抛光;所述精抛抛光液包括粒径为50~200nm的二氧化硅和水。
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百度查询: 广东晶智光电科技有限公司 一种BGO的表面修型方法
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