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摘要：本发明公开了一种微机电声波谐振器，属于射频微机电系统领域。包括：支撑台，其中心形成空腔；谐振体，由谐振基底上设置压电薄膜，所述压电薄膜上设有外接输入电极和外接输出电极组成，悬置于所述空腔上方，其上下表面为蝴蝶形结构和鼓形结构相结合的结构；所述外接输入电极贴合压电薄膜、所述外接输出电极贴合压电薄膜分别从所述蝴蝶形结构中的两个翅膀凹陷处向所述支撑台非空腔部分的方向延伸，直至贴合于所述支撑台非空腔部分的上表面，使得所述谐振器悬于所述支撑台的空腔之上。本发明通过设置谐振体形状为蝴蝶形和鼓形结构相结合，相比现有技术中长方体结构能够使谐振体内存储更多的能量，减小谐振器的能量损耗，提高谐振器的品质因数。
主权项：1.一种微机电声波谐振器，其特征在于，包括：支撑台1，其中心形成空腔；谐振体6，由谐振基底8上设置压电薄膜7，所述压电薄膜7上设有外接输入电极2和外接输出电极3组成，悬置于所述空腔上方，其上下表面为蝴蝶形结构5和鼓形结构4相结合的结构；所述外接输入电极2贴合压电薄膜7、所述外接输出电极3贴合压电薄膜7分别从所述蝴蝶形结构5中的两个翅膀凹陷处向所述支撑台1非空腔部分的方向延伸，直至贴合于所述支撑台1非空腔部分的上表面，使得所述谐振器6悬于所述支撑台1的空腔之上。
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百度查询： 上海师范大学 一种微机电声波谐振器及其制备方法
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