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摘要:本发明涉及固晶机领域,且公开了一种半导体固晶机冷热轨道一体化装置,有效的解决了目前在进行不同料片加工工序时,需要对轨道模组进行拆卸重装使用,较为麻烦的问题,包括圆形座,所述圆形座的一侧安装有上料座,上料座的顶端安装有上料机,圆形座远离上料座的一侧安装有下料座,下料座的顶端安装有下料机,圆形座的顶端对称安装有上锡加热管道和点胶冷管道,上锡加热管道和点胶冷管道分别位于与上料座和上料机垂直方向的两侧,本发明,通过圆形座上设有上料机和下料机用于料片的上下料,而圆形座的顶端对称设有上锡加热管道和点胶冷管道,使得将半导体固晶冷热轨道设置于同一设备上,方便对半导体生产时料片的加工。
主权项:1.一种半导体固晶机冷热轨道一体化装置,包括圆形座(1),其特征在于:所述圆形座(1)的一侧安装有上料座(2),上料座(2)的顶端安装有上料机(3),圆形座(1)远离上料座(2)的一侧安装有下料座(4),下料座(4)的顶端安装有下料机(5),圆形座(1)的顶端对称安装有上锡加热管道(6)和点胶冷管道(8),上锡加热管道(6)和点胶冷管道(8)分别位于与上料座(2)和上料机(3)垂直方向的两侧,上锡加热管道(6)与点胶冷管道(8)均设置呈四分之一环形管道状,上锡加热管道(6)与点胶冷管道(8)之间安装有料片移动组件(12);上锡加热管道(6)的内部等距安装有多个加热器,多个加热器将上锡加热管道(6)内部形成多个温区;上锡加热管道(6)靠近下料座(4)的一端顶部安装有上锡设备(7),点胶冷管道(8)靠近下料座(4)的一端顶部安装有点胶设备(9),圆形座(1)上方靠近下料座(4)的一侧设有安装架(10),安装架(10)与上锡加热管道(6)和点胶冷管道(8)固定连接,安装架(10)的顶端安装有固晶设备(11)。
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