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摘要：本发明公开提出了一种光纤激光超声厚度测量仪，属于光学测量技术领域。包括一个脉冲激光、一个窄线宽激光器、一个光纤迈克尔逊干涉仪、一个物镜、一个金属外壳；金属外壳部分内置光纤激光器、光纤干涉仪和物镜系统，实现小型化，从而实现纳米级厚度测量。脉冲激光诱导板材材料受热，进一步激发超声波，在材料内部产生谐振效应，而激发的谐振波波长与材料厚度有关，通过光纤干涉仪测量出板材表面振动的频率，即可计算出板材的厚度信息，进一步通过激发光脉宽和能力的控制，可以提升频率测量的准确性，提高厚度测量的分辨率。
主权项：1.一种光纤激光超声厚度测量仪，其特征在于，包括光纤激光器1、耦合器2、第一反射镜3、自聚焦镜4、扩束系统5、二向色镜6、第二反射镜7、物镜8、耦合透镜10、探测器11、高功率光纤13；所述光纤激光器1用于发出探测光；所述耦合器2设置在光纤激光器1的光路上并将光纤激光器1发出的探测光分为两路，一路为参考光，另一路为传感光；所述第一反射镜3设置在参考光的光路上，第一反射镜3用于将参考光返回到耦合器2中；传感光依次经过自聚焦镜4、扩束系统5、二向色镜6、第二反射镜7和物镜8后照射在待测样品表面；所述自聚焦镜4用于将传感光进行聚焦，所述扩束系统5用于将聚焦后的传感光进行扩束；所述二向色镜的一侧还设置有耦合透镜10，所述耦合透镜10与高功率光纤13的输出端连接；高功率光纤13的输入端用于与外部高功率光纤激光器连接；外部高功率光纤激光器发出脉冲激光并通过高功率光纤13传递到耦合透镜10中，再经过二向色镜6、第二反射镜7、物镜8后到达样品表面，通过激光和物质相互作用激发激光超声信号，并被传感光携带；经待测样品表面反射的传感光携带着激光超声信号沿传感光光路的反方向返回到耦合器2中；所述耦合器还用于将返回的传感光和参考光进行耦合，并将耦合后的光传输到探测器11中；所述探测器11用于对耦合后的光进行分析。
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百度查询： 上海大学 一种光纤激光超声厚度测量仪
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