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摘要：本实用新型公开了一种多工位晶圆量检测设备，包括：工艺腔室，其内部呈真空状态且设置有检测工作台；中转腔室，其连接若干个工艺腔室；以及预抽真空腔室，若干个预抽真空腔室与中转腔室连接；其中，预抽真空腔室与中转腔室之间、中转腔室与工艺腔室之间通过真空阀门连通。本实用新型提供的多工位晶圆量检测设备结构设计更加合理、紧凑、灵活，节省了设备占地面积。该设备通过增加中转腔室，可减少晶圆传输到工艺腔室后腔室恢复工作条件的时间，减少了整个晶圆的工艺流转时间，提高了量测和检测的工作效率。并且，该设备采用模块化设计，可实现多个量测或检测工位，可自行选择每个工位的功能，增加的工艺腔室还可提高单位时间内的量测或检测效率。
主权项：1.一种多工位晶圆量检测设备，其特征在于，包括：工艺腔室4，其内部呈真空状态且设置有检测工作台5；中转腔室3，其连接若干个所述工艺腔室4；以及预抽真空腔室2，若干个所述预抽真空腔室2与所述中转腔室3连接；其中，所述预抽真空腔室2与所述中转腔室3之间、所述中转腔室3与所述工艺腔室4之间通过真空阀门7连通。
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百度查询： 无锡亘芯悦科技有限公司 一种多工位晶圆量检测设备
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