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摘要：本发明涉及一种表面测量装置、处理装置以及表面测量方法。该表面测量装置包括载物台、传感器单元、供应单元和控制单元。该控制单元被构造为执行：第一处理，操作供应单元，使得已经流过内部流动路径的气体从第一至第N喷嘴的吹出孔向下吹出；第二处理，操作载物台和传感器单元中的至少一个，使得在通过第一处理操作供应单元的期间传感器单元扫描测量对象的表面；以及第三处理，基于在传感器单元通过第二处理扫描的期间在第一至第N空气传感器中的每一个中测量的气体的流量来计算第一至第N喷嘴中的每一个与测量对象的表面之间的间隔距离。
主权项：1.一种表面测量装置，包括：载物台，被构造为允许放置测量对象；传感器单元，设置在所述载物台上方并且被构造为能够相对于所述载物台移动；供应单元，被构造为向所述传感器单元供应气体；以及控制单元，其中，所述传感器单元包括：第一至第N空气传感器，每个空气传感器被构造为当从所述供应单元供应的气体流过内部流动路径时测量气体的流量，其中，N是2或更大的自然数，底座部，被构造为固定在沿着水平方向的第一方向上成排布置的第一至第N空气传感器，以及第一至第N喷嘴，分别与所述第一至第N空气传感器的内部流动路径连通，并且每个喷嘴设置有朝向所述载物台开口的吹出孔，并且其中，所述控制单元被构造为执行：第一处理，操作所述供应单元使得已经流过所述内部流动路径的气体从所述第一至第N喷嘴的吹出孔向下吹出，第二处理，操作所述载物台和所述传感器单元中的至少一个，使得在通过所述第一处理操作所述供应单元的期间所述传感器单元扫描所述测量对象的表面，以及第三处理，基于在所述传感器单元通过所述第二处理进行扫描的期间在所述第一至第N空气传感器中的每一个中测得的气体的流量，计算所述第一至第N喷嘴中的每一个与所述测量对象的表面之间的间隔距离。
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百度查询： 株式会社三井高科技 表面测量装置、处理装置以及表面测量方法
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