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摘要：本发明属于射频微机电系统传感器技术领域，具体提供一种多功能集成化的MEMS传感器系统，用以实现基于单一传感器的磁场与温度测量。本发明采用角拍动方形谐振器同时作为磁场传感器与温度传感器，并匹配设计切换电路与后端处理电路，共同构成多功能集成化的MEMS传感器系统；切换电路采用两个二极管与门构成，通过对两个二极管与门的输出进行高、低电平的控制，实现磁场传感电路与温度传感电路的相互切换；并且，磁场与温度传感电路中共用由跨阻放大器、二阶RC滤波网络、电压跟随器及单片机中控模块构成的后端处理电路；综上，本发明能够基于单一传感器实现磁场与温度的同时测量，且具有低功耗、小体积、多功能、稳定性强的优点。

主权项：1.一种多功能集成化的MEMS传感器系统，包括：多功能谐振式传感器1、跨阻放大器2、二阶RC滤波网络3、电压跟随器4、文氏电桥振荡电路5、第一二极管与门6、第二二极管与门7及单片机中控模块8；其特征在于，所述多功能谐振式传感器采用角拍动方形谐振器，其电极结构包括：上输出电极盘1-1与下输出电极盘1-2构成的一对输出电极、第一上输入电极盘1-3与第二上输入电极盘1-4构成的一对上输入电极、第一下输入电极盘1-5与第二下输入电极盘1-6构成的一对下输入电极、以及接地电极盘1-7，所述第一上输入电极盘1-3与第一下输入电极盘1-5之间通过左侧环路导线1-8导通，所述第二上输入电极盘1-4与第二下输入电极盘1-6之间通过右侧环路导线1-9导通；所述跨阻放大器2、二阶RC滤波网络3、电压跟随器4依次串联，跨阻放大器2的反相输入端连接多功能谐振式传感器的上输出电极盘1-1，电压跟随器4连接多功能谐振式传感器的下输出电极盘1-2与单片机中控模块8；所述文氏电桥振荡电路5的输出端连接多功能谐振式传感器的下输入电极；所述第一二极管与门6与第二二极管与门7构成切换电路，第一二极管与门的输入端与第二二极管与门的输入端分别连接单片机中控模块的IO接口、且第一二极管与门输入低电平时第二二极管与门输入高电平、第一二极管与门输入高电平时第二二极管与门输入低电平，第一二极管与门的输出端连接文氏电桥振荡电路的输出端，第二二极管与门的输出端连接多功能谐振式传感器的下输出电极盘；所述单片机中控模块包括：IO接口、波形转换模块、分频电路、频率测量模块、检波电路、AD转换模块、幅度测量模块及数据显示模块，所述波形转换模块、分频电路、频率测量模块依次连接构成温度测量支路，所述检波电路、AD转换模块、幅度测量模块依次连接构成磁感应强度测量支路，温度测量支路与磁感应强度测量支路的测量结果通过数据显示模块显示。

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