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摘要：本实用新型提供一种MEMS麦克风及电子设备，其中的MEMS麦克风包括基板以及与基板形成封装腔体的外壳；其中，在基板上设置有连通封装腔体与外部的气道；并且，在垂直于基板的方向上，气道的出口与气道的进口相互交错分布。利用上述实用新型能够减小产品的尺寸，防止气流对芯片的直吹，提高产品的可靠性。
主权项：1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括基板以及与所述基板形成封装腔体的外壳；其中，在所述基板上设置有连通所述封装腔体与外部的气道；并且，在垂直于所述基板的方向上，所述气道的出口与所述气道的进口相互交错分布。
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百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 MEMS麦克风及电子设备
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