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申请/专利权人：珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司
摘要：本申请公开了一种功率器件及其制备方法，功率器件包括：衬底，衬底具有第一表面；第一外延层设置在第一表面上，第一外延层包括沿第一方向分布的多个外延区域，各外延区域具有背离衬底的第二表面，在第二方向上多个外延区域的第二表面与第一表面具有不同的距离，第一方向平行于第一表面，第二方向垂直于第一表面，第一外延层具有第一掺杂类型；多个注入区，注入区设置在外延区域中，且注入区背离衬底的表面位于第二表面中，每个外延区域中设置有至少一个注入区；第二外延层，第二外延层位于第一外延层背离衬底的一侧，第二外延层与注入区接触，第二外延层与注入区具有第二掺杂类型。以解决相关技术中场限环结构的功率器件击穿电压低的问题。
主权项：1.一种功率器件，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有第一表面；第一外延层，所述第一外延层设置在所述第一表面上，且所述第一外延层包括沿第一方向分布的多个外延区域，各所述外延区域具有背离所述衬底的第二表面，在第二方向上多个所述外延区域的所述第二表面与所述第一表面具有不同的距离，所述第一方向平行于所述第一表面，所述第二方向垂直于所述第一表面，所述第一外延层具有第一掺杂类型；多个注入区，所述注入区设置在所述外延区域中，且所述注入区背离所述衬底的表面位于所述第二表面中，每个所述外延区域中设置有至少一个所述注入区；第二外延层，所述第二外延层位于所述第一外延层背离所述衬底的一侧，所述第二外延层与所述注入区接触，且所述第二外延层与所述注入区具有第二掺杂类型。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海格力电子元器件有限公司 珠海格力电器股份有限公司 功率器件及其制备方法
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