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三点定位单晶炉 

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申请/专利权人:无锡禹田真空设备有限公司

摘要:本实用新型公开了三点定位单晶炉,包括炉体,所述炉体上方设置有炉盖,所述炉盖圆周面上设置有三组定位结构,所述三组定位结构呈圆周阵列,所述炉体侧边设置有与三组定位结构对应的定位柱,所述定位柱焊接在安装板上,所述安装板通过螺栓固定在炉体侧壁,所述三组定位结构均包括有侧装板,所述侧装板焊接在炉盖侧壁,所述侧装板一侧通过螺栓固定有定位块,所述定位块底部设置有开口槽,所述开口槽与定位柱间隙配合,其优点在于可以进行快速定位,提高整体结构稳定性,避免炉盖,设置双重密封提高整体密封性。

主权项:1.三点定位单晶炉,其特征在于:包括炉体2,所述炉体2上方设置有炉盖1,所述炉盖1圆周面上设置有三组定位结构,所述三组定位结构呈圆周阵列,所述炉体2侧边设置有与三组定位结构对应的定位柱601,所述定位柱601焊接在安装板6上,所述安装板6通过螺栓固定在炉体2侧壁,所述三组定位结构均包括有侧装板3,所述侧装板3焊接在炉盖1侧壁,所述侧装板3一侧通过螺栓固定有定位块4,所述定位块4底部设置有开口槽,所述开口槽与定位柱601间隙配合。

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权利要求:

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