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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：描述了一种用于在真空腔室210中运输第一载体10A及第二载体10B的设备100。设备100包括第一运输系统101，包括用于非接触地保持第一载体10A的多个磁性轴承120及沿着第一运输路径T1移动第一载体10A的驱动单元130，磁性轴承120及驱动单元130布置于第一载体运输空间15A的上方。此外，设备100包括与第一运输系统101水平偏移的第二运输系统102，并包括用于非接触地保持第二载体10B的多个另外的磁性轴承120B及沿着第二运输路径T2移动第二载体10B的另外的驱动单元130B，其中另外的磁性轴承120B相邻于磁性轴承120布置。再者，描述了一种用于垂直处理基板的处理系统及用于其的方法。
主权项：1.一种用于在真空腔室210中运输第一载体10A及第二载体10B的设备100，包括：第一运输系统101，该第一运输系统101沿着第一运输路径T1设置并包括第一上轨道区段11U，该第一上轨道区段11U包括：一个或多个磁性轴承120，用于在第一载体运输空间15A中非接触地保持该第一载体10A，该一个或多个磁性轴承120居中布置于将运输的该第一载体10A的重心的上方；及驱动单元130，用于沿着该第一运输路径T1移动该第一载体10A，该一个或多个磁性轴承120及该驱动单元130布置于该第一载体运输空间15A的上方；及第二运输系统102，该第二运输系统102沿着与该第一运输路径T1水平地偏移的第二运输路径T2设置，并包括第二上轨道区段14U，该第二上轨道区段14U包括：一个或多个另外的磁性轴承120B，用于在第二载体运输空间15B中非接触地保持该第二载体10B，该一个或多个另外的磁性轴承120B居中布置于将运输的该第二载体10B的重心的上方；及另外的驱动单元130B，用于沿着该第二运输路径T2移动该第二载体10B，该一个或多个另外的磁性轴承120B及该另外的驱动单元130B布置于该第二载体运输空间15B的上方；其中该一个或多个另外的磁性轴承120B相邻于该一个或多个磁性轴承120布置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于运输第一载体及第二载体的设备、用于垂直处理基板的处理系统及用于其的方法
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