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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本文披露了一种被布置成支撑物体的物体保持器，所述物体保持器至少包括芯层和电极层；其中，所述物体保持器具有被布置成由静电夹具夹持至用于所述物体保持器的台上的表面；其中，所述物体保持器包括多个突节布置，每个突节布置包括突节主体、沟槽、突节电极和绝缘部分。
主权项：1.一种被布置成支撑物体1001的物体保持器，所述物体保持器至少包括芯层1006和电极层1009；其中，所述物体保持器具有被布置成由静电夹具夹持至用于所述物体保持器的台1012上的表面；其中，所述物体保持器包括多个突节布置，每个突节布置包括突节主体、沟槽1303、突节电极1304和绝缘部分1302；其中，对于每个突节布置，所述突节主体的部分从所述物体保持器的所述表面突出，所述沟槽1303在与所述物体保持器的所述表面平行的平面中围绕所述突节主体，所述沟槽1303沿与所述物体保持器的所述表面正交的方向从所述物体保持器的所述表面延伸以至少通过所述电极层1009，所述突节电极1304由所述电极层1009构成并且围绕所述沟槽1303，并且所述绝缘部分1302由所述电极层1009构成并且围绕所述电极层1304；其中，所述电极层1009还包括一个或更多个夹持电极1301，所述夹持电极1301是所述静电夹具的电极，所述静电夹具被布置成将所述表面夹持至用于所述物体保持器的台1012上，并且，在所述电极层1009内，突节布置的每个所述绝缘部分1302由夹持电极1301围绕；并且其中，所述物体保持器包括布置在每个突节电极1304与所述芯层1006之间的一个或更多个导电通孔1305，其中所述物体保持器还至少包括绝缘层1008和介电层1010；其中，所述绝缘层1008被布置在所述芯层1006与所述电极层1009之间；所述介电层1010被布置在所述电极层1009与所述物体保持器的所述表面之间；并且，对于每个突节布置，所述沟槽1303延伸穿过所述介电层1010和所述绝缘层1008。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 包括静电夹具的物体保持器
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