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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种工艺槽装置及半导体工艺设备，该工艺槽装置包括工艺槽体、防护壳体和位置调节结构，其中，防护壳体构成有顶部具有开口的容置空间，工艺槽体至少部分设置于容置空间中；位置调节结构设置于防护壳体背离容置空间的外侧，用于在将防护壳体安装于固定模块本体的情况下，调节并限定防护壳体相对于固定模块本体的位置。本发明提供的工艺槽装置及半导体工艺设备，可以在工艺槽体存放、安装及位置调节过程中，降低工艺槽体破损风险。
主权项：1.一种工艺槽装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括工艺槽体、防护壳体和位置调节结构，其中，所述防护壳体构成有顶部具有开口的容置空间，所述工艺槽体至少部分设置于所述容置空间中；所述位置调节结构设置于所述防护壳体背离所述容置空间的外侧，用于在将所述防护壳体安装于固定模块本体的情况下，调节并限定所述防护壳体相对于所述固定模块本体的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 工艺槽装置及半导体工艺设备
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