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一种光学元件的连续激光温升评价测试系统 

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申请/专利权人:苏州创鑫激光科技有限公司

摘要:本发明公开了一种光学元件的连续激光温升评价测试系统,包括激光发生装置、z轴导轨、固定组件、运动机构、制冷组件、透射光路收光装置、反射光路吸光装置、温度检测装置;运动机构设置在z轴导轨上,制冷组件设置在运动机构上,固定组件设置在制冷组件上;透射光路吸光装置用于吸收经过待测光学元件的透射光线;反射光路吸光装置用于吸收经过待测光学元件的反射光线;激光发生装置、z轴导轨和透射光路收光装置依次沿x轴设置,激光发生装置出射激光,激光照射到待测光学元件上,之后被透射光路收光装置或反射光路吸光装置收光;温度检测装置用于实时检测待测光学元件的温度。本发明测试种类更多,且可兼容多种光学元件的连续激光温升测试。

主权项:1.一种光学元件的连续激光温升评价测试系统,其特征在于,包括激光发生装置、z轴导轨、固定组件、运动机构、制冷组件、透射光路收光装置、反射光路吸光装置、温度检测装置;所述运动机构设置在所述z轴导轨上,所述制冷组件设置在所述运动机构上,所述固定组件设置在所述制冷组件上,所述固定组件用于固定待测光学元件,所述制冷组件用于对所述待测光学元件进行制冷,所述运动机构用于带动所述制冷组件、所述固定组件和所述待测光学元件一起沿x、y、z轴方向运动;所述透射光路吸光装置用于吸收经过所述待测光学元件的透射光线;所述反射光路吸光装置用于吸收经过所述待测光学元件的反射光线;所述激光发生装置、所述z轴导轨和所述透射光路收光装置依次沿z轴设置,所述激光发生装置出射激光,所述激光照射到所述待测光学元件上,之后被所述透射光路收光装置或所述反射光路吸光装置收光;所述温度检测装置用于实时检测所述待测光学元件的温度。

全文数据:

权利要求:

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