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申请/专利权人：纽富来科技股份有限公司

摘要：图案检查方法及图案检查装置利用检查光扫描被检查试样，接受从被检查试样透射或反射的光进行摄像，对摄像而得的光学像素与参照图像进行比较并输出结果，所述扫描具有：在扫描近前侧的检查区域时，进行通过可变地控制工作台的高度位置在检查区域的各位置将图案形成面的高度位置调整为希望的聚焦高度位置的自动聚焦控制；在扫描非检查区域时，将工作台高度位置保持为图案形成面在相邻的检查区域的扫描开始位置的附近的位置成为聚焦高度位置的工作台高度；在扫描前方相邻的检查区域时，从保持了工作台的高度位置的工作台高度位置开始进行可变地控制工作台的高度位置，将图案形成面的高度位置调整为聚焦高度位置的自动聚焦控制。

主权项：1.一种图案检查方法，其中，使用具有形成有图形图案的多个检查区域以及所述多个检查区域的检查区域彼此之间的非检查区域的被检查试样，利用检查光沿规定的方向扫描所述多个检查区域以及所述检查区域彼此之间的所述非检查区域；经由检查光学系统由传感器接受从被所述检查光照射的所述被检查试样透射或者反射的光，从而对所述被检查试样的光学图像进行摄像；以及使用参照图像，对摄像而得的光学像素与所述参照图像进行比较，并输出结果，所述扫描包括：在使用所述检查光对扫描方向上的所述非检查区域的近前侧的检查区域进行扫描的情况下，进行如下自动聚焦控制：通过对载置所述被检查试样的工作台的高度位置进行可变地控制，从而在该检查区域的各位置将图案形成面的高度位置调整为希望的聚焦高度位置；在使用所述检查光扫描所述非检查区域的情况下，使用在相对于所述非检查区域在扫描方向的前方相邻的检查区域的扫描开始位置的附近的位置处图案形成面成为所述聚焦高度位置的工作台高度，将对所述非检查区域进行扫描过程中的工作台高度位置保持为在该附近的位置处图案形成面成为所述聚焦高度位置的所述工作台高度；以及在使用所述检查光对相对于所述非检查区域在所述扫描方向的前方相邻的检查区域进行扫描的情况下，从保持了所述工作台的高度位置的所述工作台高度位置开始，进行如下自动聚焦控制：通过可变地控制所述工作台的高度位置，从而将在所述扫描方向的前方相邻的检查区域的图案形成面的高度位置调整为所述聚焦高度位置。

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