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申请/专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种静电吸附掩模板及其制备方法。所述静电吸附掩模板包括：具有像素定义层的第一基板；静电吸附导电层，设置在所述第一基板上，用于从外部静电发生器获得静电荷；静电屏蔽导电层，覆盖所述静电吸附导电层及该侧的第一基板表面，并接地；绝缘层，设置在所述静电吸附导电层和所述静电屏蔽导电层之间。本发明提供的静电吸附掩模板在使用过程中，将静电屏蔽导电层接地，因此电力线只能终止于静电屏蔽导电层和衬底之间，使其无法影响气相沉积材料的分子轨迹，以增加薄膜沉积质量，降低堵孔风险。
主权项：1.一种静电吸附掩模板，其特征在于，包括：具有像素定义层的第一基板；静电吸附导电层，设置在所述第一基板上，用于从外部静电发生器获得静电荷；静电屏蔽导电层，覆盖所述静电吸附导电层及该侧的第一基板表面，并接地；绝缘层，设置在所述静电吸附导电层和所述静电屏蔽导电层之间。
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百度查询： 安徽熙泰智能科技有限公司 静电吸附掩模板及其制备方法
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