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申请/专利权人：江苏西米半导体有限公司
摘要：本发明涉及一种智能单片刷洗清洗机及晶圆片清洗方法，包括依次设置的上料机构、喷淋清洗机构、刷洗机构、甩干机构及下料机构。该智能单片刷洗清洗机及晶圆片清洗方法通过特殊设计的上料机构、喷淋清洗机构、刷洗机构、甩干机构及下料机构相配合，能够尽可能地减少与晶圆片表面的接触面积及受力面积，避免损伤晶圆片表面，从而提高晶圆片表面的清洗、刷洗效果，实现无死角清洗、刷洗，从而大大提高了产品质量，同时提高了清洗效率。
主权项：1.一种智能单片刷洗清洗机，其特征在于：包括依次设置的上料机构、喷淋清洗机构、刷洗机构、甩干机构及下料机构；所述上料机构用于自动抓取晶圆片并将其送至喷淋清洗机构，包括上料平台、能够将上料平台内的晶圆片取出的取片组件以及能够将取片组件的晶圆片抓取的上料机械手；所述喷淋清洗机构用于对晶圆片表面进行清洗，包括能够将晶圆片边缘夹持并驱动其旋转的夹片旋转组件以及能够对晶圆片顶部和底部喷淋的第一喷淋头；所述刷洗机构用于对晶圆片表面进行刷洗，包括第一次刷洗机构及第二次刷洗机构，所述第一次刷洗机构或第二次刷洗机构包括用于支撑并输送晶圆片的输送组件、用于阻挡并驱动晶圆片旋转的阻挡组件以及用于对晶圆片顶部和底部刷洗的刷洗组件；所述甩干机构用于将晶圆片甩干，包括能够支撑并驱动晶圆片旋转的甩干组件以及能够对晶圆片表面喷淋的第二喷淋头；所述下料机构用于自动抓取晶圆片并将其送出，包括下料平台、能够抓取甩干机构上的晶圆片的下料机械手以及能够将下料机械手上的晶圆片送至下料平台的送片组件。
全文数据：
权利要求：
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