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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本公开提供一种视觉自动调焦装置及方法，装置包括：沿调焦光路依次设置的照明光源、分光镜、成像物镜、复合靶标、位移台和成像探测器；其中，复合靶标，包括背光板、暗场亮线分划板和视觉反射片；调焦光路包括：粗调焦光路与精准调焦光路；粗调焦光路为：照明光源发出的照明光依次通过所述分光镜、成像物镜到达复合靶标的视觉反射片，经视觉反射片反射后，再经过成像物镜成像至成像探测器上；精准调焦光路为：所述背光板发出的光经过所述暗场亮线分划板投射，再经过所述成像物镜、所述分光镜成像至所述成像探测器上。本申请通过使用复合靶标与成像系统配合，能够实现任意距离下测量目标的快速精确自动对焦，调焦精度不受光学系统景深影响。
主权项：1.一种视觉自动调焦装置，其特征在于，包括：沿调焦光路依次设置的照明光源、分光镜、成像物镜、复合靶标、位移台和成像探测器；其中，所述复合靶标，包括背光板、暗场亮线分划板和视觉反射片；所述成像探测器，可移动地设置在所述位移台上；所述调焦光路包括：粗调焦光路与精准调焦光路；所述粗调焦光路为：所述照明光源发出的照明光依次通过所述分光镜、所述成像物镜到达所述复合靶标的视觉反射片，经所述视觉反射片反射后，再经过所述成像物镜成像至所述成像探测器上；所述精准调焦光路为：所述背光板发出的光经过所述暗场亮线分划板投射，再经过所述成像物镜、所述分光镜成像至所述成像探测器上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种视觉自动调焦装置及方法
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