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申请/专利权人：EV集团E·索尔纳有限责任公司
摘要：本发明涉及一种用于提供多层系统的方法、一种多层系统以及一种用于接合和去接合的方法。
主权项：1.一种用于提供由至少两个层5，6，7构成的多层系统4的方法，尤其是用于临时接合衬底以形成衬底堆叠1，所述方法具有以下顺序的以下步骤：i提供多层系统4，ii确定多层系统4对特定波长的激光辐射11的吸收程度，iii改变多层系统4的至少一个参数，iv确定多层系统4对特定波长的激光辐射11的吸收程度，所述多层系统具有至少一个根据步骤iii变化的参数，v重复步骤i至iv，直到吸收程度最大，其中在步骤i中分别提供具有最大吸收程度的多层系统4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： EV集团E·索尔纳有限责任公司 由用于临时接合的薄层构成的多层系统
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