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申请/专利权人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要：本发明公开一种阻抗匹配方法、装置及等离子体产生装置，涉及阻抗匹配技术领域。其中，阻抗匹配方法用于控制可调阻抗匹配电路。所述方法包括：获取可调阻抗匹配电路的初始参数与接入信号的信号参数；根据所述初始参数与所述信号参数，确定所述可调阻抗匹配电路的匹配函数；基于预设匹配模型和所述匹配函数，确定最优匹配参数；根据所述最优匹配参数，调整所述可调阻抗匹配电路的参数值。本发明旨在提高阻抗匹配方法的泛用性与准确性。
主权项：1.一种阻抗匹配方法，用于控制可调阻抗匹配电路，其特征在于，所述方法包括：获取可调阻抗匹配电路的初始参数与接入信号的信号参数；根据所述初始参数与所述信号参数，确定所述可调阻抗匹配电路的匹配函数；基于预设匹配模型和所述匹配函数，确定最优匹配参数；根据所述最优匹配参数，调整所述可调阻抗匹配电路的参数值。
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百度查询： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 阻抗匹配方法、装置及等离子体产生装置
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