龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种射频传输元件及其制备方法、等离子体装置。所述射频传输元件与一射频源相连，所述射频源用于发送射频信号，所述射频传输元件包括：射频传递结构和保护层，所述保护层位于所述射频传递结构的整个表面；其中，所述保护层的材质包括类金刚石或金刚石。本发明通过在射频传递结构的整个表面形成DLC或金刚石保护层，有效防止了射频传输元件被氧化或腐蚀而引起导电性变化和外观差异；所述保护层具有优异的耐磨性和导热性，能够避免射频传输元件被划伤或散热不畅等问题，延长其使用寿命。本发明还通过在射频传递结构不同金属层之间形成DLC或金刚石阻挡层，有效阻挡了不同金属层间的金属扩散，避免对射频传输元件导电性的影响。
主权项：1.一种射频传输元件，所述射频传输元件与一射频源相连，所述射频源用于发送射频信号，其特征在于，包括：射频传递结构，其包括相对的第一端和第二端，所述第一端与射频源相连，用于接收所述射频源发送的射频信号，所述射频信号沿所述射频传递结构传递至第二端；保护层，位于所述射频传递结构的表面；其中，所述保护层的材质包括类金刚石或金刚石；所述保护层覆盖所述射频传递结构的整个表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中微半导体设备(上海)股份有限公司 射频传输元件及其制备方法、等离子体装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号