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申请/专利权人：芊惠半导体科技(苏州)有限公司
摘要：本发明涉及压延机设备技术领域，具体而言，涉及一种晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置和压延机。晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置包括接触底座、固定底座和间隙检测装置；所述间隙检测装置设置在所述固定底座上，且与所述接触底座相对应设置，用于检测分别设置在两个压延辊上的所述接触底座和所述固定底座之间的间隙。本发明实施例的有益效果是：通过间隙确认装置检测设置在相邻压延辊上的接触底座和固定底座之间的距离，从而实现对相邻压延辊之间的间隙的快速调整，降低了调整时间，提高了生产效率，减少了材料的报废。
主权项：1.一种晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置，其特征在于，包括接触底座、固定底座和间隙检测装置；所述间隙检测装置设置在所述固定底座上，且与所述接触底座相对应设置，用于检测分别设置在两个压延辊上的所述接触底座和所述固定底座之间的间隙。
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