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申请/专利权人：南京埃米仪器科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种压阻自感应式三自由度扫描器，包括基座、X‑Y扫描器、Z扫描器和转接组件，X‑Y扫描器设置在基座内，X‑Y扫描器上的X‑Y向输出端在压电陶瓷的作用下沿X、Y方向可控移动，Z扫描器设置在基座的外部，Z扫描器通过转接组件与X‑Y向输出端连接，Z扫描器上的Z向输出端在Z扫描器上压电陶瓷的作用下沿Z方向可控移动。优点，利用设置在基座内的X向压电陶瓷和Y向压电陶瓷，实现X‑Y铰链上的X‑Y输出端在X、Y方向上的可控移动，利用与X‑Y输出端连接的转接组件把Z扫描器转接到X‑Y扫描器的外部，保证了扫描器具备在X、Y、Z三个方向上可控移动的同时也增大了探针安装和拆取的空间，操作方便的同时也避免了探针拆装过程中探针易损坏的问题。
主权项：1.一种压阻自感应式三自由度扫描器，其特征在于：包括基座（1）、X-Y扫描器（2）、Z扫描器（3）和转接组件（4），所述X-Y扫描器（2）设置在基座（1）内，X-Y扫描器（2）上的X-Y向输出端（206）在压电陶瓷的作用下沿X、Y方向可控移动，所述Z扫描器（3）设置在基座（1）的外部，Z扫描器（3）通过转接组件（4）与X-Y扫描器（2）上的X-Y向输出端（206）连接，Z扫描器（3）上的Z向输出端（34）在Z扫描器（3）上压电陶瓷的作用下沿Z方向可控移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京埃米仪器科技有限公司 压阻自感应式三自由度扫描器
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