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申请/专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
摘要：本实用新型公开了一种微影装置，应用于半导体技术领域，包括：光学镜片、分束装置和光谱带宽探测器；沿激光传输方向光谱带宽探测器位于光学镜片的后面；沿激光传输方向分束装置位于光谱带宽探测器和光学镜片之间，以将激光划分为第一激光束和第二激光束，第一激光束传输至晶圆待曝光区域，第二激光束传输进光谱带宽探测器，使光谱带宽探测器根据第二激光光束得到E95当前值与E95目标值的对比结果；光谱带宽探测器与激光器电气连接，以将对比结果反馈给激光器进行调节，激光器在调节后将调节结果反馈给光谱带宽探测器。能实现对光谱带宽实时监控和反馈，从而优化对CD的控制；能避免光学镜片损伤对光谱带宽测量值的影响；能降低经济损失。
主权项：1.一种微影装置，其特征在于，包括：光学镜片、分束装置和光谱带宽探测器；沿激光传输方向所述光谱带宽探测器位于所述光学镜片的后面；沿所述激光传输方向所述分束装置位于所述光谱带宽探测器和所述光学镜片之间，以将所述激光划分为第一激光束和第二激光束，所述第一激光束传输至晶圆待曝光区域，所述第二激光束传输进所述光谱带宽探测器，使所述光谱带宽探测器根据所述第二激光束得到E95当前值与E95目标值的对比结果；所述光谱带宽探测器与所述激光器电气连接，以将所述对比结果反馈给所述激光器进行调节，所述激光器在调节后将调节结果反馈给所述光谱带宽探测器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 一种微影装置
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