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一种具有支撑体的绕阻式半导体气体传感器 

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申请/专利权人:苏州纳格光电科技有限公司

摘要:本申请揭示一种具有支撑体的绕阻式半导体气体传感器,包括基座、半导体气体传感器以及若干PIN脚,所述半导体气体传感器包括:支撑体;绕阻电极,所述绕阻电极设于所述支撑体表面,所述绕阻电极由绕制在所述支撑体的电极线表面所形成;气敏材料,所述气敏材料位于所述绕阻电极的覆盖区域;引线电极,所述引线电极与所述绕阻电极电性连接;信号电极,所述信号电极与所述气敏材料连接,且与所述绕阻电极绝缘设置;其中,所述半导体气体传感器的引线电极以及信号电极分别电性连接于不同PIN脚上。本申请提供的半导体气体传感器在单根支撑结构上形成多个单元体阵列后,再进行切割形成单个的元件,经过封装和测试,形成最终的传感器,可以实现批量化生产。

主权项:1.一种具有支撑体的绕阻式半导体气体传感器,包括基座、半导体气体传感器以及若干PIN脚,其特征在于,所述半导体气体传感器包括:支撑体;绕阻电极,所述绕阻电极设于所述支撑体表面,所述绕阻电极由绕制在所述支撑体表面的电极线构成;气敏材料,所述气敏材料位于所述绕阻电极的覆盖区域;引线电极,所述引线电极与所述绕阻电极电性连接;信号电极,所述信号电极与所述气敏材料连接,且与所述绕阻电极绝缘设置;其中,所述半导体气体传感器的引线电极以及信号电极分别电性连接于不同PIN脚上。

全文数据:

权利要求:

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