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一种半导体功率器件料片自动传送装置及传送方法 

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申请/专利权人:华羿微电子股份有限公司

摘要:本申请公开了一种半导体功率器件料片自动传送装置及传送方法,该料片自动传送装置包括刮板驱动机构组件、框架限位机构组件、抓手传送机构组件及皮带传送机构组件。其中,刮板驱动机构组件用于将多料片连续传送;框架限位机构组件用于将连续传送的料片整理至传送区域内;抓手传送机构组件用于将整理后的料片逐一抓持;皮带传送机构组件用于连续将抓持的单一料片相接传送。该料片自动传送装置能根据功率器件原料料片的形状进行针对性的逐一传送,在确保自动化传送的基础上,通过多个限位构件提高传送精度,并且在传送过程中避免对料片过大的传送力而导致料片断裂的问题,从而提高功率器件的生产效率和成型质量,并降低生产成本。

主权项:1.一种半导体功率器件料片自动传送装置,其特征在于,包括:刮板驱动机构组件,用于将多料片连续传送;刮板驱动机构组件包括回转式传送链轮机构和构成三角结构的齿轮组件,该齿轮组件包括水平间距设置的传送齿轮和在该传送齿轮底部设置的张紧齿轮;在传送齿轮和张紧齿轮之间回转连接有链条,构成的齿轮组件和链条左右对称且间距设置有两组;框架限位机构组件,设置在所述刮板驱动机构组件上,并用于将所述刮板驱动机构组件连续传送的料片整理至传送区域内;抓手传送机构组件,与所述刮板驱动机构组件相接,用于将所述框架限位机构组件整理后的料片逐一抓持,并与所述刮板驱动机构组件脱离;皮带传送机构组件,与所述抓手传送机构组件相接,并用于连续将所述抓手传送机构组件抓持的单一料片相接传送;所述刮板驱动机构组件包括回转式传送链轮机构,在该回转式传送链轮机构上间距设置有若干刮板,且相邻所述刮板之间预留有料片放置腔;在对称的链条之间及刮板底侧固定设置有料片限位板;所述抓手传送机构组件包括对称设置的抓手,以及承接所述抓手滑动的导轨条,所述抓手的滑动行程至框架限位机构组件与皮带传送机构组件;对称的抓手相互靠近并将下压后伸出刮板底部的料片部分夹持,料片在抓手的夹持下与刮板脱离后则沿导轨条滑动,将单个料片传送至皮带传送机构组件处;所述皮带传送机构组件包括沿所述抓手滑动方向间距且左右对称设置的皮带轮,以及环套在单侧所述皮带轮上的传送皮带,相邻所述传送皮带的间距小于料片厚度;以及下压机构,该下压机构包括有与抓手对应的由气动驱动的下压块,当单个料片被传送至与抓手对应的位置后,刮板间歇性的停止,下压块动作,下压料片与料片限位板接触。

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权利要求:

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