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申请/专利权人：新优势产业集团有限公司
摘要：本发明公开了一种带有超导磁体的等离子体CVD装置腔体的顶部设有超导磁体，超导磁体包括与变频电源相连的超导线圈及低温装置，超导线圈的上端呈圆筒形，下端向外扩展形成上小下大的喇叭形，腔体与超导磁体之间设有绝缘顶板；腔体内设有基材台，基材台与腔体的底板之间设有绝缘环，绝缘环内侧的底板中央设有微波输入孔；微波发生器通过模式转换器及微波输入孔与腔体连接，腔体的一侧设有腔体升降装置。本发明的等离子体CVD装置中，等离子体中的碳不仅可以向下沉积，还可以横向沉积，从而可以适用于立体结构的基材，大大扩展了CVD装置的适用范围。
主权项：1.一种带有超导磁体的等离子体CVD装置，包括机架（1）及腔体（2），所述腔体包括底板（3）及设置在底板上的圆筒状腔壁（4），其特征是，所述腔体的顶部设有超导磁体（5），所述的超导磁体包括超导线圈（6）及设置在超导线圈外周的低温装置（7），所述超导线圈与变频电源相连，超导线圈的上端呈圆筒形，超导线圈的下端向外扩展形成上小下大的喇叭形，所述的腔体与所述超导磁体之间通过设置在腔体顶部的绝缘顶板（8）分隔；所述的腔体内设有基材台（9），所述基材台与腔体的底板之间设有绝缘环（10），所述绝缘环内侧的底板中央设有微波输入孔（11）；设置在机架上的微波发生器（12）通过模式转换器（13）及微波输入孔与腔体连接，腔体的一侧设有腔体升降装置（14），所述的腔体升降装置与腔体的圆筒状腔壁相连。
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权利要求：
百度查询： 新优势产业集团有限公司 带有超导磁体的等离子体CVD装置
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