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申请/专利权人:暨南大学;暨南大学韶关研究院
摘要:本发明属于生物植入材料技术领域,特别涉及一种N和Ta离子注入钛合金改性涂层及其制备方法与应用。本发明在钛合金表面进行N离子注入和Ta离子注入,然后在完成离子注入后的钛合金表面进行磁控溅射Ta,最终得到钛合金改性涂层。所得涂层具有良好的机械性能,并且与基体具有优异的结合力。
主权项:1.一种N和Ta离子注入钛合金改性涂层的制备方法,其特征在于包括以下步骤:在钛合金表面进行N离子注入和Ta离子注入,然后在完成离子注入后的钛合金表面进行磁控溅射Ta,最终得到钛合金改性涂层;所述N离子注入时的真空压力为2×10-4~5×10-4Pa,电压为50~80Kv,注入计量为2×1017~8×1017ioncm2;所述Ta离子注入时的真空压力为2×10-4~5×10-4Pa,电压为40~70Kv,注入计量为2×1017~8×1017ioncm2;磁控溅射Ta的具体操作为用纯Ta靶材,将真空腔体抽至5×10-4Pa,并加热腔室温度至200-400℃,电源功率为1800-2000W,磁控溅射的同时通入氩气。
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百度查询: 暨南大学 暨南大学韶关研究院 一种N和Ta离子注入钛合金改性涂层及其制备方法与应用
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