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申请/专利权人：苏州金橙子激光技术有限公司
摘要：本发明公开了一种振镜带载激光焦点漂移量检测方法，其特征在于，包括：在检测平台上标定一组具有θ角斜度的检测点，检测点上形成有结构一致的对比阵列条纹参考线和测试阵列条纹参考线；利用聚焦激光束将对比阵列条纹参考线进行标记，确定标记后的对比阵列条纹参考线中最清晰的一条对比条纹参考线作为初始焦点位置；控制振镜持续工作，聚焦激光束重复出光带载老化；利用聚焦激光束将测试阵列条纹参考线进行标记，确定标记后的测试阵列条纹参考线中最清晰的一条测试条纹参考线作为测试焦点位置；记录测试焦点位置与初始焦点位置之间间距γ；利用计算公式得出振镜的焦点偏移量为；通过上述方式以解决振镜产品聚焦光束的漂移量难以测定的问题。
主权项：1.一种振镜带载激光焦点漂移量检测方法，其特征在于，包括：在检测平台上标定一组具有θ角斜度的检测点，所述检测点上形成有结构一致的对比阵列条纹参考线和测试阵列条纹参考线；利用聚焦激光束将所述对比阵列条纹参考线进行标记，确定标记后的所述对比阵列条纹参考线中最清晰的一条对比条纹参考线作为初始焦点位置；控制振镜持续工作，使聚焦激光束重复出光带载老化，聚焦激光束不照射在所述检测平台上；利用聚焦激光束将所述测试阵列条纹参考线进行标记，确定标记后的所述测试阵列条纹参考线中最清晰的一条测试条纹参考线作为测试焦点位置；记录测试焦点位置与初始焦点位置之间的间距为γ；利用计算公式得出所述振镜的焦点偏移量为。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州金橙子激光技术有限公司 振镜带载激光焦点漂移量、重复定位误差检测方法及测试装置
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