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申请/专利权人：康泰斯(上海)化学工程有限公司

摘要：本发明公开了一种同时生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的方法，以三氯硅烷为原料，同时生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的方法，本发明的原料便宜简单，并且硅烷粗分塔塔底产品循环至三氯硅烷第一分离塔循环利用，提高了产品循环利用率，从而降低了生产成本；本发明的方法可以同时生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷，每种产品可自由选择，操作灵活，并且本发明提高了硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的纯度，可以生产多种产品的同时还能提高产品的纯度；本发明的方法在产品的分离提纯过程中采用热耦合的方式，以最大程度的降低整体系统的能耗，提高能源利用率。

主权项：1.一种同时生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、原料三氯硅烷进入第一反应器1中，进行歧化反应；S2、步骤S1中所述第一反应器1的出口物料以及步骤S5中硅烷粗分塔5塔底物料进入三氯硅烷第一分离塔3中精馏分离，三氯硅烷第一分离塔3塔顶为轻组分氯硅烷混合物，所述轻组分氯硅烷混合物为二氯硅烷、一氯硅烷、硅烷的混合物，三氯硅烷第一分离塔3塔底为重组分氯硅烷混合物，所述重组分氯硅烷混合物为三氯硅烷、四氯化硅的混合物；S3、步骤S2中三氯硅烷第一分离塔3塔底出口物料经过增压泵10送入三氯硅烷第二分离塔4精馏分离，三氯硅烷第二分离塔4塔顶产品为三氯硅烷，循环至第一反应器1继续进行歧化反应，三氯硅烷第二分离塔4塔底出口物料为四氯化硅，排至装置储罐储存；S4、步骤S2中三氯硅烷第一分离塔3塔顶出口物料首先进入二氯硅烷缓冲罐8，然后经过二氯硅烷输送泵9送至第二反应器2继续进行歧化反应；S5、步骤S4中第二反应器2出口物料进入硅烷粗分塔5精馏分离，第二反应器2塔顶出口物料进入硅烷精馏塔6继续精馏分离，第二反应器2塔底出口物料返回至三氯硅烷第一分离塔3精馏分离；S6、步骤S5中进入硅烷精馏塔6继续精馏后，硅烷精馏塔6塔顶出口物料进入硅烷提纯塔7中进一步精馏提纯硅烷，硅烷精馏塔6塔底出口杂质排至装置尾气处理系统；S7、步骤S6中进入硅烷提纯塔7进一步精馏提纯后，硅烷产品从硅烷提纯塔7塔底抽出，塔顶微量的轻组分排至尾气处理系统；S8、生产二氯硅烷一氯硅烷产品时，步骤S2三氯硅烷第一分离塔3塔顶出口物料进入一氯二氯硅烷粗分塔11精馏分离，一氯二氯硅烷粗分塔11塔顶出口物料进入二氯硅烷提纯塔12，一氯二氯硅烷粗分塔11塔底较重的组分排至二氯硅烷缓冲罐8；S9、步骤S8中物料进入二氯硅烷提纯塔12内精馏提纯二氯硅烷，二氯硅烷产品从塔底排出，塔顶轻组分排至一氯硅烷提纯塔13精馏提纯一氯硅烷；S10、步骤S9中物料进入一氯硅烷提纯塔13进行提纯，一氯硅烷产品从塔顶排出，塔底微量较重的组分排至装置尾气处理系统。

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