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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本申请涉及光谱分析的技术领域，具体涉及一种相变滤光阵列及其制备方法、计算光谱仪，计算光谱仪包括相变滤光阵列；相变滤光阵列包括多个阵列设置的滤光片，每一滤光片包括透明衬底；n组交替沉积的相变层和介质层，位于端部的相变层沉积于所述透明衬底上；角度反射抑制层，其沉积于位于端部的介质层上。本申请具有低难度制造与计算光谱仪匹配适用的滤光阵列，且提高滤光阵列光谱透射率的连续性的效果，进一步结合图像传感器及光谱重建算法，实现基于相变的计算光谱仪，以解决传统计算光谱仪在工作波长范围内得到的滤光像素数量有限的问题，提高其性能。
主权项：1.相变滤光阵列，其特征在于，包括多个阵列设置的滤光片，每一滤光片包括：透明衬底；n组交替沉积的相变层和介质层，位于端部的相变层沉积于所述透明衬底上，其中，所述相变层的材料为低K值的相变材料，n≥3，K值＜1；角度反射抑制层，其沉积于位于端部的介质层上；其中，多个滤光片沉积完成后的退火温度不同，且相邻退火温度间隔1～20℃。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 相变滤光阵列及其制备方法、计算光谱仪
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