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申请/专利权人：浜松光子学株式会社

摘要：本发明的光扫描系统具备：反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。

主权项：1.一种光扫描系统，其中，具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以所述反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第一可动部的第二可动部、以及以所述反射镜能够以沿着与所述X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈的磁场；温度传感器，其测量所述反射镜器件及所述磁铁的使用温度；以及运算部，其将用于使所述反射镜以所述X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入所述第一驱动用线圈，并且将用于使所述反射镜以所述Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入所述第二驱动用线圈，所述运算部：获取所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、以及所述第二目标摆动角及所述第二目标频率；从所述温度传感器获取所述使用温度；并且基于所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、所述第二目标摆动角及所述第二目标频率、所述使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成所述第一电流信号及所述第二电流信号，其中，所述第一数据用于修正相对于输入所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的所述反射镜的摆动角的变化，所述第二数据用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离及以所述第二轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述X轴的偏离中的至少一方，所述第三数据用于修正相对于所述使用温度的变化的所述反射镜的摆动角的变化。

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权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 光扫描系统及光扫描装置