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申请/专利权人：季华实验室
摘要：本申请公开了一种气流均匀化方法、装置、设备、存储介质和程序产品，涉及真空腔体应用的技术领域，包括：通过在目标腔体内设置一格栅阵列，使用格栅阵列在不同开度下的压强分布，表征在格栅阵列处的气流均匀或湍流，以此进一步通过调整格栅阵列的开度，使得格栅阵列处的气流均匀化。相较于常规手段，本申请的气流均匀化方法无需改进腔体表面质量，无需优化腔体内部结构，也无需使用蜂窝芯结构，仅需要增加一格栅阵列即可，效率高、成本低、效果显著，可适用于复杂的腔体内部结构和非线性抽真空过程。
主权项：1.一种气流均匀化方法，其特征在于，所述气流均匀化方法应用在对目标腔体抽取真空的过程中，所述气流均匀化方法包括：扫描得到所述目标腔体内的格栅阵列在当前开度下的压强分布；根据所述压强分布确定在所述格栅阵列处的气流是否存在湍流；若存在湍流，则调整所述格栅阵列的当前开度，并返回执行所述扫描得到所述目标腔体内的格栅阵列在当前开度下的压强分布的步骤，直至确定在所述格栅阵列处的气流均匀化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 季华实验室 气流均匀化方法、装置、设备、存储介质和程序产品
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