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申请/专利权人:海昆(浙江)高纯新材料科技有限公司;武汉香榭轩新材料技术有限公司
摘要:本发明公开了一种含盐酸及氢氟酸废液分离回收处理方法,包括下述操作步骤:首先蒸馏分离,依次获得,蒸出液、稳定性混酸、结晶物。其次,将蒸出液进行调配,以超高纯电子级成品销售;将稳定性混酸,脱水分离,获得高纯氯化氢,氟化氢;将结晶混合物分离,获得相关工业化物料。该工艺依次采用蒸馏、脱水、浓缩结晶、精馏、调配等工艺,将废液逐级浓缩,提纯,分离,实现高浓度、强酸性、强腐蚀性废液的增值循环利用。具有耗能低,环保效益好,无废弃物产生,社会经济价值高等诸多优点。
主权项:1.一种含盐酸及氢氟酸废液分离回收方法,所述技术可由含盐酸、氢氟酸废酸得到具有高价值的超高纯电子级盐酸、氢氟酸,金属的质量含量在100ppb以下;且得到超高纯氯化氢、无水氟化氢纯度达6.5N,其特征在于,以盐酸、氢氟酸为主的含有氟硅酸及氟化盐的危险废弃物为原料,包括下述制备步骤:工序1将盐酸、氢氟酸废酸溶液通入蒸馏釜中进行加热蒸馏,控制时间、温度、及取样检测,经冷凝收集可获得水、盐酸、氢氟酸;盐酸、氢氟酸、氟硅酸的稳定性混酸;蒸馏釜底部产生氟化钙、氟化铝、氟化钠、氟化镁、氯化钠、氟硅酸钠一种或多种的混合物;工序2将上述盐酸、氢氟酸、氟硅酸的稳定性混酸通入浓硫酸反应釜中脱水,产生四氟化硅、氟化氢、氯化氢、含氟稀硫酸;工序3经脱水后通入蒸馏塔中蒸馏,将蒸出气相通入精馏塔中,分别收集氯化氢、无水氟化氢馏分,获得超高纯氯化氢、氟化氢产品;工序4将工序2中含氟稀硫酸,依次通过白炭黑反应柱,三氧化硫吸收塔,形成四氟化硅,获得98%-107%浓硫酸产品;工序5将工序4中四氟化硅通过吸收塔,形成氟硅酸,及白炭黑产品;工序6将工序5中形成的氟硅酸,重复工序2-5工艺,获得氟化氢产品,及白炭黑产品;工序7将工序1结晶物,采用浓缩结晶工艺,根据溶解度的不同,依次分离出不溶性氟化钙、氟化镁钢铁造渣剂、焊接剂产品,微溶性的氟化钠、氟硅酸钠UF3吸附剂、乳白剂,及可溶性的氟化钾增透剂、抛光剂产品;工序8将工序1中产生的盐酸、氢氟酸,用工序4氯化氢、氟化氢调配至超高纯电子级产品。
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