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申请/专利权人：上海联风气体有限公司

摘要：本申请公开电子级氢氟酸的回收方法，能够被应用于氢氟酸回收系统，氢氟酸回收系统包括至少两吸附单元，吸附单元包括树脂吸附塔。电子级氢氟酸的回收方法包括至少一所述吸附单元执行吸附操作，同时其余的所述吸附单元执行再生操作以恢复吸附能力。再生操作包括向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入超纯水，由超纯水置换出残留于执行再生操作的所述树脂吸附塔中的氢氟酸原料液。在执行吸附操作的所述树脂吸附塔达到饱和后，所述氢氟酸回收系统进入下一个循环，执行吸附操作的所述树脂吸附塔于下个循环中执行再生操作，而执行再生操作的所述树脂吸附塔于下个循环中执行吸附操作，以此循环以实现氢氟酸回收系统不间断地产出电子级的氢氟酸。

主权项：1.电子级氢氟酸的回收方法，能够被应用于氢氟酸回收系统，所述氢氟酸回收系统包括至少两吸附单元，所述吸附单元包括树脂吸附塔，其特征在于，所述电子级氢氟酸的回收方法包括以下操作：至少一所述吸附单元执行吸附操作，向执行吸附操作的所述树脂吸附塔通入氢氟酸原料液，以由执行吸附操作的所述树脂吸附塔吸附氢氟酸原料液中的金属离子，以得到电子级氢氟酸；同时其余的所述吸附单元执行再生操作，再生操作包括以下步骤：停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入氢氟酸原料液，并向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入超纯水，由超纯水置换出残留于执行再生操作的所述树脂吸附塔中的氢氟酸原料液；在执行再生操作的所述树脂吸附塔中残留的氢氟酸原料液被超纯水完全置换后，停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入超纯水，并将再生液以预设的流速通入执行再生操作的所述树脂吸附塔中，执行再生操作的所述树脂吸附塔所吸附的金属离子与再生液进行离子交换并随再生液排出塔；在执行再生操作的所述树脂吸附塔所吸附的金属离子与再生液进行离子交换后，停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入再生液，并将水洗液通入执行再生操作的所述树脂吸附塔，以使水洗液将附着于执行再生操作的所述树脂吸附塔的再生液冲出；在附着于执行再生操作的所述树脂吸附塔的再生液被水洗液完全置换后，停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入水洗液，并于执行再生操作的所述树脂吸附塔的底部通入电子级氢氟酸，电子级氢氟酸置换出执行再生操作的所述树脂吸附塔中残留的水洗液；循环吸附操作和再生操作，在执行吸附操作的所述树脂吸附塔达到饱和后，所述氢氟酸回收系统进入下一个循环，执行吸附操作的所述树脂吸附塔于下个循环中执行再生操作，而执行再生操作的所述树脂吸附塔于下个循环中执行吸附操作。

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