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申请/专利权人：苏州光格科技股份有限公司
摘要：本发明涉及传感器技术领域，公开了一种光纤法布里‑珀罗温度传感器及其制备方法，包括MEMS温度敏感硅片，具有第一面和第二面；第一石英片，阳极键合于第一面，第一石英片刻蚀有通孔；第二石英片，阳极键合于第二面，第一面刻蚀有第一凹槽，第二石英片刻蚀有背向第一凹槽的第二凹槽，第一凹槽与通孔连通；石英管贯穿通孔并插装于第一凹槽；光纤贯穿石英管并与第一凹槽的内底面贴合；第一凹槽的内底面与第二面之间形成硅腔，第二凹槽的内底面与第二石英片背离第二凹槽的一侧面之间形成参考腔。其利用光纤结合MEMS技术，实现对硅腔长度及参考腔长度的精确控制，产品一致性良好，有利于改善测量准确性，通过修正参考腔，使得温度灵敏度更加准确。
主权项：1.一种光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，包括：MEMS温度敏感硅片，具有沿自身的厚度方向相背布置的第一面和第二面；第一石英片，阳极键合于所述第一面，所述第一石英片沿所述厚度方向刻蚀有通孔；第二石英片，阳极键合于所述第二面，所述第一面刻蚀有第一凹槽，所述第二石英片背离所述第二面的一侧面刻蚀有背向所述第一凹槽的第二凹槽，所述第一凹槽与所述通孔连通；石英管，其一端贯穿所述通孔并插装于所述第一凹槽；光纤，其一端贯穿所述石英管并与所述第一凹槽的内底面贴合；其中，所述第一凹槽的内底面与所述第二面之间的区域形成硅腔，所述第二凹槽的内底面与所述第二石英片背离所述第二凹槽的一侧面之间的区域形成参考腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州光格科技股份有限公司 一种光纤法布里-珀罗温度传感器及其制备方法
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