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申请/专利权人：尼得科精密检测科技株式会社
摘要：本发明提供一种容易缩短使欲调节温度的对象物的内部温度处于目标温度范围的时间的温度调整装置、对所述对象物进行检查的检查装置、以及温度调整方法。温度调整装置1包括：框体2；冷却台61，配置于框体2内，且具有能够与对象物DUT接触的冷却面611；冷却部64，将冷却台61冷却至比预先设定的目标温度范围的下限值TL低的冷却温度TC；搬运机构5，在使对象物DUT与冷却面611接触后，自冷却面611离开；以及风扇25，对通过搬运机构5自冷却面611离开后的对象物DUT进行加热。
主权项：1.一种温度调整装置，其特征在于，包括：框体；冷却台，配置于所述框体内，且具有能够与对象物接触的冷却面；冷却部，将所述冷却台冷却至比预先设定的目标温度范围的下限值低的冷却温度；搬运机构，在使所述对象物与所述冷却面接触后，自所述冷却面离开；以及加热部，对通过所述搬运机构自所述冷却面离开后的所述对象物进行加热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 尼得科精密检测科技株式会社 温度调整装置、检查装置、以及温度调整方法
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