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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及光学加工技术领域，尤其涉及一种大口径光学元件划痕的快速去除方法，在磁流变抛光驱动单元的工具端搭载缺陷检测单元，通过缺陷检测单元提取光学元件的划痕的点云数据，之后对划痕曲线进行拟合，再求出曲线的法向量，然后使用小去除函数磁流变抛光模块沿着法向量的方向垂直去除划痕实现划痕的快速去除，最后使用大去除函数磁流变抛光模块遍历整个光学元件表面，保留光学元件的高精度面形特征。
主权项：1.一种大口径光学元件划痕的快速去除方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：将缺陷检测单元设置在磁流变抛光驱动单元的工具端，将待检测划痕的光学元件设置在所述缺陷检测单元的检测范围内；S2：控制所述缺陷检测单元提取所述光学元件上的划痕位置坐标，再对所述划痕位置坐标进行拟合，得到划痕曲线；计算所述划痕曲线上每个点的归一化法向量；S3：将小去除函数磁流变抛光模块替换所述缺陷检测单元安装在所述磁流变抛光驱动单元的工具端；所述小去除函数磁流变抛光模块以步骤S2得到的划痕位置坐标为去除位置，以步骤S2得到的归一化法向量为去除方向，垂直去除所述光学元件的表面划痕；S4：将大去除函数磁流变抛光模块替换所述小去除函数磁流变抛光模块安装在所述磁流变抛光驱动单元的工具端；测量所述光学元件的面形误差和磁流变去除函数，计算得到对所述光学元件加工时的驻留时间；S5：控制所述大去除函数磁流变抛光模块遍历整个所述光学元件的表面，对所述光学元件进行全口径加工。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 大口径光学元件划痕的快速去除方法
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