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申请/专利权人：上海升翕光电科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种成膜装置及真空蒸镀机，涉及真空蒸镀技术领域。成膜装置包括基板、支撑件、压接件、推动结构和拉动结构；基板放置在支撑件上，支撑件与压接件活动连接；推动结构与压接件连接；拉动结构与支撑件连接。通过推动结构推动压接件，可以使压接件压在基板在成膜装置的长度方向的两端，拉动结构拉动支撑件和压接件，可以使基板呈拉长状态，可以减小基板的中间部分下垂，从而在基板和掩模版的对位过程中发生的误差减小，进而可以确保基板和掩模版的对位精度，提高OLED的产品良率。
主权项：1.一种成膜装置，其特征在于，包括基板、支撑件、压接件、推动结构和拉动结构；所述基板放置在所述支撑件上，所述支撑件与所述压接件活动连接；所述推动结构与所述压接件连接，所述推动结构被构造为推动所述压接件，以使所述压接件压在所述基板在所述成膜装置的长度方向的两端；所述拉动结构与所述支撑件连接，所述拉动结构被构造为拉动所述支撑件和所述压接件，以使所述基板呈拉长状态。
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百度查询： 上海升翕光电科技有限公司 成膜装置及真空蒸镀机
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