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申请/专利权人：上海升翕光电科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种成膜装置及真空蒸镀机，涉及真空蒸镀技术领域。成膜装置包括蒸镀腔体、基板、掩模版、推动件和吸附部件；基板和掩模版可活动设置在蒸镀腔体内，掩模版在成膜装置的高度方向上与基板的成膜面相对设置；推动件可活动设置在蒸镀腔体内，推动件可压在基板在成膜装置的长度方向的两端；吸附部件可活动设置在蒸镀腔体内，吸附部件可吸附基板背离成膜面一侧的表面。通过推动件在成膜装置的高度方向上压在基板在成膜装置的长度方向的两端，吸附部件吸附基板背离成膜面一侧的表面，可以减小基板的中间部分下垂，从而在基板和掩模版的对位过程中发生的误差减小，进而可以提高OLED的产品良率。
主权项：1.一种成膜装置，其特征在于，包括蒸镀腔体、基板、掩模版、推动件和吸附部件；所述基板和所述掩模版可活动设置在所述蒸镀腔体内，所述掩模版在所述成膜装置的高度方向上与所述基板的成膜面相对设置；所述推动件可活动设置在所述蒸镀腔体内，所述推动件可压在所述基板在成膜装置的长度方向的两端；所述吸附部件可活动设置在所述蒸镀腔体内，所述吸附部件可吸附所述基板背离所述成膜面一侧的表面。
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