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申请/专利权人：南开大学
摘要：本发明涉及一种用于超快扫描二次电子成像的E‑T探测器，该探测器包括承载本体、光电倍增管、光导管、闪烁体、栅网和滤光片；所述承载本体内依次设置有光电倍增管、光导管和闪烁体；位于所述闪烁体前方的所述承载本体前端设置所述栅网；所述光电倍增管和所述光导管之间设置有至少一个滤光片。本发明通过增加滤光片以及增镀铝膜，实现降低泵浦光与杂散光源对超快扫描成像的干扰，提升图像的信噪比，获得高质量的超快电子扫描图像。
主权项：1.一种用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器，其特征在于，该探测器包括承载本体、光电倍增管、光导管、闪烁体、栅网和滤光片；所述承载本体内依次设置有光电倍增管、光导管和闪烁体，所述闪烁体包括从下到上依次设置的四层结构，其中：第一层结构采用透明无气泡的玻璃；第二层结构采用荧光粉层；第三层结构采用铝膜层；第四层结构采用增镀铝膜层；位于所述闪烁体前方的所述承载本体前端设置有所述栅网；所述光电倍增管和所述光导管之间设置有至少一个滤光片；还包括光束终止器，所述光束终止器设置在超快扫描电子显微镜样品室内的试样镜面反射光路上，收集镜面反射光，防止泵浦光束及其反射光的影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南开大学 一种用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器
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