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申请/专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种静电吸盘安装装置，所述静电吸盘安装装置用于将半导体设备的静电吸盘安装至设备板上，所述半导体设备包含环绕所述静电吸盘设置的反应腔室；所述静电吸盘安装装置包含：驱动组件；承压板，所述承压板的顶面中心与所述驱动组件连接，所述承压板的底面与所述静电吸盘的顶面平行；支撑结构，设置于所述承压板的底面，当安装所述静电吸盘时，所述支撑结构环绕所述静电吸盘，且所述支撑结构设置于所述反应腔室上。本发明能够将半导体设备的静电吸盘安装至设备板上，且能够保证静电吸盘在安装过程中受力均匀性。
主权项：1.一种静电吸盘安装装置，其特征在于，所述静电吸盘安装装置用于将半导体设备的静电吸盘安装至设备板上，所述静电吸盘安装装置包含：驱动组件；承压板，所述承压板的顶面中心与所述驱动组件连接，所述承压板的底面与所述静电吸盘的顶面平行；支撑结构，所述支撑结构的第一端用于支撑所述驱动组件和所述承压板，当安装所述静电吸盘时，所述支撑结构环绕所述静电吸盘，且所述支撑结构的第二端搭设在所述半导体设备的固定部件上，用于提供所述静电吸盘安装装置安装所述静电吸盘安装至所述设备板上时的水平基准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种静电吸盘安装装置
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