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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本实用新型公开了一种洁净室用颗粒侦测结构，包括采样探头和振动传感器，其中采样探头装于洁净室内的空气采样位置处以用于空气采样，且通过采样管路与颗粒计数器连接；振动传感器安装于采样探头或靠近采用探头位置处以用于振动的探测，振动传感器与洁净室的控制系统信号连接。本实用新型通过在采样探头或采样探头附近增设振动传感器，并记录其探测到的振动的时间，通过将振动时间与颗粒物超标时间进行比对，可有效排除或锁定一过性因素，可有效提高颗粒物排查的效率、降低排查难度，也一定程度上提高了颗粒物因素判断的准确性。
主权项：1.一种洁净室用颗粒侦测结构，其特征在于，包括：采样探头，其安装于洁净室内的空气采样位置处以用于空气采样，所述采样探头通过采样管路与颗粒计数器连接；振动传感器，其安装于所述采样探头或靠近所述采样探头位置处以用于振动的探测，所述振动传感器与洁净室的控制系统信号连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 一种洁净室用颗粒侦测结构
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