买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：中科同帜半导体(江苏)有限公司

摘要：本实用新型涉及热压设备技术领域，提供一种具有真空功能的在线式热压设备系统。该热压设备系统包括：上料装置，用于将工件从入口处输送上料；预烘工位，用于对工件进行预烘；热压烧结工位，用于对工件进行热压烧结，其包括：真空腔室，真空腔室设有真空抽口和或进气管路，真空抽口用于对真空腔室进行抽真空，进气管路用于向真空腔室内输入还原性气体和或惰性气体，密封环境内也可以添加还原性介质，防止介质外溢，保证芯片在烧结过程产生的氧化物有效还原；冷却工位，用于对工件进行冷却；下料装置，用于将工件从出口处输送下料；各个工位作业不冲突，可同时多个工件进行不同工位工序的加工处理，缩短了产品生产周期，提高加工效率。

主权项：1.一种具有真空功能的在线式热压设备系统，其特征在于，包括：上料装置，用于将工件从入口处输送上料；预烘工位，所述预烘工位设于所述上料装置的出口处，用于对工件进行预烘；热压烧结工位，所述热压烧结工位设于所述预烘工位的出口处，用于对工件进行热压烧结，所述热压烧结工位还包括：压力装置；压接装置，所述压接装置设置在真空腔室内，且设置在所述压力装置的中间板上；压接装置含有至少一个热压头；覆膜装置，所述覆膜装置设置在所述真空腔室内，且设置在所述压力装置的中间板上；其中，所述覆膜装置包括：放卷端和收卷端，薄膜由放卷端引出后，经过所述压接装置的下表面，再进入收卷端；冷却工位，所述冷却工位设于所述热压烧结工位的出口处，用于对工件进行冷却；下料装置，所述下料装置设于所述冷却工位的出口处，用于将工件从出口处输送下料；其中，所述热压烧结工位包括：真空腔室，所述真空腔室设有真空抽口和或进气管路，所述真空抽口用于对所述真空腔室进行抽真空，所述进气管路用于向所述真空腔室内输入还原性气体和或惰性气体；所述真空腔室包括：侧板和顶板，所述侧板围设在所述顶板的边缘处，所述顶板与所述压力装置的中间板固定连接；侧板具有垂直方向压缩拉伸功能；柔性密封圈，所述柔性密封圈设于所述侧板的底端；其中，当压力装置的中间板向下移动到位后，所述侧板通过所述柔性密封圈与所述压力装置的底板密封连接，以使所述顶板、所述侧板和所述底板形成所述真空腔室；所述压力装置的中间板能够继续向下移动，所述侧板垂直方向压缩，所述压接装置与所述底板上工件接触并加压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中科同帜半导体(江苏)有限公司 具有真空功能的在线式热压设备系统